跟着半导体产业的飞快发展，半导体建设市集限度也在同步增长。关统统据袒露，2017年至2022年，寰球半导体建设市集限度从566亿好意思元晋升至1076.4亿好意思元。建设市集扩增极大晋升了建设零部件需求。据推算，2022年寰球半导体建设零部件采购额约为500亿好意思元。
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▲ WSTS于2023年6月份发表数据，2022年寰球半导体市集销售额达到5741亿好意思元，2024年瞻望达到5760亿好意思元 数据开始：WSTS
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▲ 半导体建设寰球市集限度 资料开始：SEMI，民生证券探求院
按照结构组成，半导体零部件可大概分为：机械类、电气类、机电一体类、气/液/真空系统类、仪器姿色类、光学类等。其中真空系统类则分为干式真空泵、分子泵等多样真空泵、万般阀件、压力计以及O型密封圈等。
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▲ 半导体建设产业链荆棘游图片开始：民生证券探求院
VLSI Research 统计，近10年来半导体环节子系统供应商销售额名次，前十位被真空泵、光学系统、阀门厂家紧紧占据。用最直不雅的数据例如，一个月产4万片的晶圆厂，大概需要上千台真空泵及尾气处理系统和500台分子泵。可见真空系统在半导体行业的蹙迫性。
一 半导体制造与真空系统
半导体居品的通盘这个词制造过程可分为：晶圆加工—氧化—光刻—刻蚀—薄膜千里积—互连—测试—封装 等要领，其中包括了上百个具体的工艺环节。其中真空系统在半导体制造中涵盖了晶片加工、薄膜涂覆、化学气相淀积、等离子体刻蚀等多个环节。
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▲ 真空系统在半导体制造的主要应用环节
真空系统在半导体制造中的作用主要有两点：❶抽取工艺腔的气体，去除颗粒与充足的水汽等杂质，有助于减少其对半导体材料的玷辱；❷为止气压，收场对半导体器件制造过程中的精准为止。凭据以上需求半导体建设的真空系统主要由干式真空泵，分子泵与冷泵居品组成。
目下寰球半导体真空系统不论是居品水准仍是市集份额，欧洲厂商皆占据很大比重。其中，EDWARDS 无疑是半导体产业真空居品的理思合营伙伴。本文以 EDWARDS 部分居品为例，说明干式真空泵、分子泵及尾气处理建设在半导体制造中的应用。
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▲ 世界主要真空泵供应商积年销售额数据开始：VLSI research，EDWARDS，单元：百万好意思元
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▲ TechInsights 发布2023年十泰半导体建设商的名次，EDWARDS 位列第四
● 干式真空泵
目下在半导体界限履行的干式真空泵主要为：多级罗茨真空泵、爪式真空泵和螺杆真空泵。
在半导体分娩线上，收支样品加载腔（L/L腔），传输腔和工艺处理腔皆需真空环境，但对真空系统的条目有所不同。
关于L/L腔抽真空，干式真空泵濒临的主要挑战是耐受高频大气冲击；关于传输腔，干式真空泵濒临的主要挑战是大气冲击以及为止特定气量下的压力；关于工艺腔抽真空，干式真空泵的条目是耐腐蚀，庄重性高，处理粉尘才能强及密封性细致无比。
目下工艺处理腔真空系统主流大多是接受罗茨+多级爪式干泵或罗茨+多级罗茨干泵的多级泵结构，以 EDWARDS iXH 泵与 iXM 泵为比拟典型的应用面容，其主要凭据工艺挑战选拔合适的型号。
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▲ 自上而下离别为：EDWARDS iXM 系列（险诈耗、高性能）、iXH 系列（强耐腐蚀性、处理粉尘才能强）
● 分子泵
分子泵闲居应用于半导体制造过程中的光刻机、薄膜千里积建设、刻蚀建设、离子注入机、原子层千里积（ALD）等环节建设。
如 EDWARDS STP 磁悬浮涡轮分子泵适用于条目高真空、低振动、无玷辱、少珍惜的半导体工艺中。其多轴磁力轴承系统可使转子在初始时间看护悬浮景况，舍弃了机械轴承带来的损坏风险，同期较大裁减杂音和振动。
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▲ EDWARDS STP 系列磁悬浮涡轮分子泵：抽气速率300L/s至4500L/s，极限压力<10-10mbar，工艺气体流量处理才能强
芯片分娩过程需不闭幕使用有机溶剂和酸性溶液，反应过程会产生深广的有毒无益的气体。EDWARDS STP 系列磁悬浮涡轮分子泵为工艺过程提供保护涂层、氮气吹扫、加热保护等选项，其可靠的质料和性能，在市集上享有较大声誉，在很多具有挑战性的半导体工艺中是理思建设。
● 尾气处理建设
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半导体工艺中使用的气体有毒性，易燃易爆，腐蚀等特色，不成平直排放至大气中，需要用尾气处理建设将不可控的气体改革为可控气体，以下为废气的排放旅途。
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半导体废气排放旅途EDWARDS 以 Atlas 为代表的一系列尾气处理建设具有细致无比的气体处理成果，粉尘处理才能强和安全性高，取得了寰球半导体客户的招供。同期尾气处理建设与干式真空泵组成集成系统，以莽撞高风险工艺，晋升工艺庄重性与空间利用率，共同组成了 EDWARDS 完竣的半导体真空及尾气处勾通决有策画。
二 半导体真空系统珍惜、维修的蹙迫性
纵不雅寰球半导体行业的发展态势，其制造工艺对半导体建设的条目已越来越尖刻。相应的，半导体零部件在材料、结构、工艺、品性、精度、可靠性、庄重性等各方面也濒临着更高的尺度。
关于真空系统及尾气处理建设相通如斯。真空系统是半导体建设的蹙迫组成部分，真空泵初始情况的优劣平直影响制品的质料和建设的安全。是以，对真空系统及尾气处理建设依期搜检、实时发现故障和处理，可有用从简维修时辰，保证建设安全经济初始。
而信得过数据也证明了以上不雅点。通过分析2017年至2022年寰球半导体真空泵市集限度情况咱们不错得出论断：维修市集与建设市集共同组成了半导体真空泵市集全景，其中维修市集占比约25%，说明半导体真空泵领有宏大的维修市集。很多真空系统及尾气处理建设是24小时不闭幕初始的，维修建设注定增多分娩本钱，该数据也让半导体厂商通晓到建设检测、搜检、珍惜、维修的蹙迫性。
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2017-2022年寰球半导体真空泵市集限度情况 图片开始：华经产业探求院三 优质售后作事 更好助力客户分娩
另一方面，优质半导体真空系统供应商凭据市集及客户需求，在提供高品性建设硬件的同期，晋升售后作事质料，保证居品庄重高效初始，更好的助力客户分娩。
动作真空和尾气处理界限的寰球合营伙伴，EDWARDS 售后作事团队一直助力现场运营，为客户提供优质作事。据统计，EDWARDS 稀有万台建设遍布寰球，保证广阔建设的正常初始，保险客户高效分娩，成为其售后作事团队的强大任务！
从装机与维修，到治愈与持续革新，EDWARDS 售后作事团队运营职责之是以取得广泰半导体客户的招供，其原因主要体当今以下四个方面：
❶ 专科的售后作事团队
EDWARDS 售后作事团队在国内领有专科的半导体建设维修、治愈工夫及数百名泄漏丰富的工程师，分享寰球半导体建设应用常识，同期领有国内居品应用、工夫复古、国际居品研发等里面团队的强力复古，确保抖擞不同的客户需求，保证建设的“健康”！
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❷ 问题反应更实时
EDWARDS 售后作事团队遍布寰球数十个主要城市，作事东说念主员全天候反应。有用的作事政策，完善的问题处理和升级进程，确保更快更准地识别和处罚问题，为客户裁减分娩过程中的损构怨本钱。
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❸ 现场功课更安全
售后作事团队分享 EDWARDS 寰球安全经管体系，将公司安全经管策画和客户安全策画相结合，制定出符合客户和售后团队的现场安全经管体系。通过持续的风险评估和安全风险识别，制定莽撞措施裁减风险，保证现场功课的安全性。通过售后团队成员持续提高的安全意志，保证现场建设、东说念主员的安全以及客户分娩安全。
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❹ 作事质料更贴心
使用来自寰球作事泄漏制定的功课招引书，确保团队作事成员在提供客户作事前完成专科级居品培训认证，并持续晋升成员本身技巧和作事技巧，旨在为客户提供更贴心的高质料作事；凭据现场客户规则、分娩工艺和建设人命周期，为客户量身定制优质作事权略，执续革新现场运营情况。
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动作真空和尾气处理界限的处罚有策画提供商，EDWARDS 售后作事团队凭借宏大的客户群体，联结寰球半导体建设数据和该界限全面的专科常识，纯真行使作事经管应用系统开yun体育网，实时制定有用的作事政策，裁减现场风险和不笃定性，为客户打造群众级的真空系统及尾气处理建设维修治愈处罚有策画。
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